蒸鍍機系列-FS300

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產品參數

整機尺寸 ≤1.1(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

極限真空 ≤3×10 -5Pa 保壓12小時壓強≤5P a

膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95%

基片尺寸 ≤100×100mm


適用范圍

鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。


產品特色

小方塊.jpg 高集成設計,整體尺寸小,操作系統在工控機或觸摸屏界面完成。

小方塊.jpg 恢復工作真空快,大氣至5.0x10-4Pa≤15分鐘。

小方塊.jpg 有6組蒸發源,可實現金屬和有機材料同腔室蒸鍍。

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