蒸鍍機-FS600

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產品參數

整機尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a

膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95% 速率穩定性≥95%

基片尺寸 ≤210×210mm

可適配電子束蒸發系統


適用范圍

鈣鈦礦器件研發、光電器件結構優化等,兼容晶硅鈣鈦礦器件制作。


產品特色

小方塊.jpg 膜厚均勻性高,重復性強,速率穩定性高。

小方塊.jpg 有8+16組蒸發源,可做到4源共蒸。

小方塊.jpg 靈活性好,兼容性高,不超過210mm面積皆可切換。

小方塊.jpg 可蒸鍍腐蝕性鈣鈦礦材料,對材料限制性低。

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