蒸鍍機-FS500

500-網頁.jpg

產品參數

整機尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a

膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95% 速率穩定性≥95%

基片尺寸 ≤40×40mm 數量6片

≤50×50mm 數量4片

有12個mask位置 每個基片對應3個位置


適用范圍

OLED材料驗證、光電器件結構優化等。


產品特色

小方塊.jpg 膜厚均勻性高,重復性強,速率穩定性高。

小方塊.jpg 有16組蒸發源,可做到4源共蒸。

小方塊.jpg 蒸鍍器件效率高,壽命長,可滿足頂發射器件制備要求。

小方塊.jpg 占地面積小,使用成本低,維護成本低,性價比高。

国内精品久久久久久久影视麻豆|一区二区三区午夜无码视频|亚洲日韩va中文字幕|中国国产一级毛片18AA