蒸鍍機-FS450

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產品參數

整機尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a

膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95%

基片尺寸 ≤40×40mm 數量4片

有12個mask位置 每個基片對應3個位置


適用范圍

OLED材料驗證、光電器件結構優化等。


產品特色

小方塊.jpg 高集成設計,整體尺寸小,操作系統在工控機或觸摸屏界面完成。

小方塊.jpg 恢復工作真空快,大氣至5.0x10-4Pa≤15分鐘。

小方塊.jpg 有16組蒸發源,可4源共蒸,真空環境可更換2次mask。

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